【请你设计一套配套的成像误差实时补偿方案，需同时满足以下所有硬性指标：

补偿精度：可将浸没介质折射率波动带来的曝光线宽误差，控制在±1.2nm以内；

响应速度：补偿延迟≤1ms，可适配晶圆台≥1200mm/s的匀速扫描速度；

抗干扰能力：补偿效果不受浸没液瞬态温度波动、流速扰动、溶解气体含量变化的影响；

结构约束：方案不得改动现有曝光光学系统的核心结构与参数，不得改变浸没介质的成分与基础物性，无任何与晶圆表面直接接触的部件。

量产要求：方案核心部件可标准化批量生产，单套系统物料成本≤100万元人民币。】

“呵呵。”

这题如果是说人话的话就是：

我们国威装备现在在搞浸没式光刻机。

然后遇到点小问题。

水被激光加热以后，什么折射率变了呀，什么光路歪了呀，所以良品率崩了。

我们呢，是养一大帮百万年薪的顶尖光学博士和流体力学专家。

但是！他们好像不太会。

所以，我们就想让你们这群连大学校门都没进的高中生，来试试能不能用不超过一百万块钱的成本，帮我把这个问题给秒了？

“好不要脸！”

就在李东吐槽题目的时候，考场里开始陆续传来“啪嗒”、“啪嗒”的声音。

那是考生们放下笔的声音。

坐在李东斜前方的那个魔都中学的男生，此刻正满脸的怀疑人生。

不远处，乔帆的草稿纸上画满了流体力学的纳维-斯托克斯方程和热传导偏微分方程……

这群学霸现在很懵逼，这给我干到哪来了？

这都不是超不超纲的问题了。

这是压根就没打算让人做出来啊！

要知道高中的物理竞赛，不，甚至是大学本科的普通物理，研究的都是“理想模型”。

一般都是无摩擦的表面，绝对刚性的杆，均匀恒温的介质。

但这道题，是“工程现实”！

别说做了，这些专攻物理竞赛的普通竞赛生，很多连这题里涉及的参数逻辑都看不懂！

如果谁真的能提出一个完美自洽且可落地的方案……

这就是帮国产半导体迈过了成熟制程自主可控的一道关键门槛。

“你们华轩科技……真敢想啊。”